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    2. 服務熱線:

      產品介紹
      PRODUCTS
      PS

      氖氣退火爐

      PS
      產品描述
      參數

      技術指標:

      1、系統極限真空度 ≤5×10-5Pa(冷態)

      2、工作真空度 ≤5×10-4Pa(溫度≥200℃)

      3、系統漏率 5×10-11Pa.m3/s

      4、最高加熱溫度 850℃

      5、升溫速率 0.5~10℃/min可調可控

      6、降溫速率 250℃以上0.5~5℃/min可調可控,250℃以下自然降溫

      7、均溫區范圍 ≥φ1000mm×200mm

      8、溫度均勻性 ≤±3℃(均溫區范圍內)

      9、控溫精度 ≤±1℃(均溫區范圍內)

      10、真空室內徑 ≥φ1300mm

      11、真空室有效高度 ≥300mm

      12、工件支撐盤尺寸 ≥Φ1000mm×10mm;(工件盤上方至真空室頂部的圓柱形區域內不能有任何障礙物。)

      13、鐘罩降下后工件盤距真空室頂部高度 ≥300mm

      14、鐘罩升起后工件盤上端距離鐘罩下端高度 ≥300mm

      15、鐘罩提升至最高位置時總高度 ≤2450mm

      16、臺面高度 ≤1000mm

      17、抽速 真空室暴露大氣后,抽至5×10-4Pa所需時間≤1h

      18、功耗 ≤45kW

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